반응가스를 챔버 안으로 흘려보내 부품 표면에서 화학 반응을 일으켜 균일한 박막을 형성합니다. 박스형(배치식), Pusher형(연속식) 등 처리량과 공정 조건에 맞는 형태로 설계합니다.
※ Pusher형(연속식) 구성 예시입니다. 박스형(배치식) 등 처리량·공정 조건에 맞는 형태로도 설계됩니다.
| 로 형태 | 박스형(배치식) / Pusher형(연속식) 등 선택 가능 |
| 온도 구역 | 예열·코팅 반응·냉각 구역 독립 제어(연속형 기준) |
| 코팅 방식 | 반응가스 화학 반응 기반 (CVD 계열) |
| 분위기 | 공정에 맞는 반응가스 조합, 압력 조건은 공정별 상이 |
| 처리량 | 공정 조건에 따라 맞춤 설계 |
| 설계 방식 | 공정 조건 맞춤형 100% 커스텀 |
반응가스가 부품 표면 전체를 감싸며 화학 반응하는 방식이라, 형상이 복잡해도 코팅막 두께가 고르게 형성됩니다. 분사 방식처럼 그림자 지는 부분이 생기지 않습니다.
소량 다품종에는 박스형(배치식), 대량 생산에는 Pusher형(연속식)처럼 처리량과 공정 조건에 맞는 형태로 설계합니다. 어느 쪽이든 균일한 반응 조건을 유지합니다.
예열·코팅 반응·냉각 조건을 독립적으로 제어합니다. 연속형은 구역을 물리적으로 분리하고, 배치형은 시간 순서로 제어해 반응에 필요한 조건만 정확히 맞춥니다.
가스 종류·유량·주입 위치를 공정에 맞게 설계합니다. 막 두께와 조성의 재현성을 로트마다 일정하게 유지하는 것이 핵심입니다.
반응가스가 부품 표면과 화학적으로 반응하는 방식이라, 액체나 분말을 직접 다루지 않습니다. 이물 혼입 관리가 상대적으로 수월합니다.
히터·가스 배관·트레이 등 소모품 교체와 유지보수를 직접 대응합니다.
코팅로가 적합한 소재와 공정
초경공구·엔드밀 등 절삭공구의 내마모성 향상을 위한 표면 코팅
자동차·기계 부품의 마모·부식 저항성이 요구되는 표면처리
전극·집전체 등 이차전지 소재의 표면 코팅 공정
내식성·절연성이 필요한 전자 부품 표면 처리
내식·내열·저마찰 등 특정 기능을 부여하는 박막 형성 공정
코팅 대상 소재와 목표 막질에 따른 반응가스·온도 조건 맞춤 설계
도면이나 사양서가 없어도 괜찮습니다. 공정 목적만으로 시작할 수 있습니다.