챔버 내 대기를 완전 배기하여 산화·탈탄을 원천 차단합니다. 복사열 기반 가열 후 고압 가스 급랭(HPGQ)으로 후처리 없이 브라이트 표면을 실현합니다.
| 진공도 | 공정 조건에 따라 맞춤 설계 |
| 가열 방식 | 복사열 (흑연 / 몰리브덴 핫존) |
| 냉각 방식 | 고압 가스 급랭 HPGQ (N₂ / Ar) |
| 배기 시스템 | 로터리 펌프 + 루츠 펌프 조합 |
| 최고 온도 | 공정 조건에 따라 맞춤 설계 |
| 설계 방식 | 공정 조건 맞춤형 100% 커스텀 |
챔버 내 대기를 완전히 배기한 뒤 공정을 진행합니다. 반응성 가스와 피처리재 사이의 화학 반응 자체가 일어날 여지를 없앱니다.
산화막이 생기지 않아 열처리 후 샌드블라스팅·산세척 같은 2차 후처리가 필요 없습니다. 광휘 상태 그대로 다음 공정으로 넘어갈 수 있습니다.
최대 25 Bar 고순도 N₂·Ar 가스를 고속으로 분사해 부품을 균일하게 급랭합니다. 유증기 없이 깨끗한 냉각이 가능합니다.
내구성·경제성이 필요한 경우 흑연을, 오염에 민감한 소재를 다뤄야 하는 경우 몰리브덴을 핫존 소재로 맞춤 선정합니다.
로터리 펌프와 루츠 펌프를 조합해 목표 진공도까지 안정적으로 도달시킵니다. 배기 시간과 진공도 재현성을 함께 확보합니다.
진공 실링·펌프·핫존 등 진공로 특유의 부품 교체와 유지보수를 직접 대응합니다.
진공로가 적합한 소재와 공정
항공우주·의료기기용 티타늄·초합금 부품 진공 어닐링·브레이징
산화 없는 담금질로 표면 품질 극대화
진공 브레이징으로 이종 금속 접합, 완벽한 계면 청정도
산화 방지가 필요한 분말 소재 진공 소결
자성 재료·세라믹 소자 진공 열처리
신소재·신공정 진공 열처리 조건 탐색
도면이나 사양서가 없어도 괜찮습니다. 공정 목적만으로 시작할 수 있습니다.